洁净车间悬浮粒子最大允许数
5.1 使用粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。
5.2 测定标准:
洁净度级别
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洁净车间悬浮粒子最大允许数 立方米
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静态
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动态
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≥0.5μm
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≥5.0μm
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≥0.5μm
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≥5.0μm
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A级
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3520
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20
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3520
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20
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B级
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3520
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29
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352000
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2900
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C级
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352000
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2900
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3520000
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29000
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D级
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3520000
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29000
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不作规定
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不作规定
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5.3 洁净车间测试方法
5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
5.3.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。
5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。
5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于1.5m。
5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
5.3.7 洁净车间必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。