洁净车间 测试规则
5.4.1 测试条件
5.4.1.1 温度和湿度:无尘室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%之间为宜。
5.4.1.2 压差:空气洁净度不同的无尘室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求等高的无尘室(区)对相邻的空气洁净度级别低的无尘室(区)一般要求呈相对正压。
5.4.2 测试状态:有静态测试和动态测试。
5.4.2.1 洁净车间 测试规则静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。
5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。
5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。
5.4.3 测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。
5.4.4 洁净车间 测试规则悬浮粒子计数
5.4.4.1 采样点数目及其布置
5.4.4.1.1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。
5.4.4.1.2 采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。
5.4.4.1.3 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。
5.4.4.2 洁净车间 测试规则采样点的限定:对于任何小无尘室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次,但不同采样点的采样次数可以不同。
最少采样点数目
面积m2
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洁净度级别
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100
|
10000
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100000
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<10
≥10<20
≥20<40
≥40<100
≥100<200
≥200<400
≥400<1000
≥1000<2000
2000
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2~3
4
8
16
40
80
160
400
800
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2
2
2
4
10
20
40
100
200
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2
2
2
2
3
6
13
32
63
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注:表中的面积,对于单向流无尘室,是指送风面积,对于非单向流洁净车间,是指房间面积。
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