A.洁净车间风速 风量测试风速、风量测试 

（a）此检测计划在于确认室内总风量、风速是否合乎规范要求。 

（b）检测仪器： 

经校正合格有效期一年内之风速计测试 

（c）检测点：检测点位于主风管和高效过滤器下方300mm处，且每一过滤器取六点测试。 

检测仪器检测时须以适当之架台支撑或延伸架固定。 

（d）洁净车间风速 风量测试验收标准： 

每一过滤器出口风速须较高于设计之空气量规格。 

备注：本项目每个风口设计风量为1200m³/h左右。 

B.洁净度（落尘量） 

（a）此测试在于证明洁净度合乎无尘室规范要求。 

（b）检测仪器： 

Laster particle counter－0.3μm×1cfm检测仪器测试 

（c）检测方法：每一无尘室洁净度均须以Laster particle counter检测。 

-a）检测点：以FS 209E乱流洁净室标准测测试点数N=(地板总面积)／(洁净度等级平方根)，高度为高架地板/地板起1,100mm高度，每一检测点测试时间为一分钟。