净化工程 洁净度测试
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净化工程 测试使用仪器
净化工程 测试使用仪器无尘室里面使用的HEPA/ULPA滤网,其送出气流的速度多半都控制在0.5m/s以内,因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用多点式风速计如Shortridge Velgrid 16点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同,净化工程 测试使用仪器通常不在无尘室内使用。热线式风速计(Hot Wire)虽然高频响应良好,但是低速时 〈0.5m/s以下〉 准确性很低,因此不很适用,无尘室一般热反应风速计常用的是Thermeister式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题,也不适用低速。检验仪器须经校正合格,且仍在有效期限内。
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