净化工程 无尘室空气洁净度等级
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第二章 空气洁净度等级
第2.0.1条 空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
空气洁净度 表2.0.1
等级 每立方米(每升)空气中≥0.5微米尘粒数 每立方米(每升)空气中≥5微米尘粒数
100级 ≤35×100(3.5)
1000级 ≤35×1000(35) ≤250(0.25)
10000级 ≤35×10000(350) ≤2500(2.5)
100000级 ≤35×100000(3500) ≤5000(25)
注: 对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数,应进行多次采
样,当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的.
第2.0.2条 洁净室空气洁净度等级的检验,应以动态条件下测试的尘粒
数为依据。洁净室空气洁净度的测试,应符合附录二规定。
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