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GBJ73-84规定的洁净度等级
等级
每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数
每立方米(升)空气中》5μm尘粒数
100
《35*100(〈3.5〉

1000
《35*1000(〈35〉
《250(〈0.25〉
10000
《35*10000(〈350〉
《2500(〈2.5〉
100000
《35*100000(〈3500〉
《25000(〈25〉
美国联邦标准FS209E中的洁净等级
等级名称
等级限值










0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm







容积单位
容积单位
容积单位
容积单位
容积单位







国际单位
英制
单位
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
m
Ft
M1.0

350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10
0.283
/
/
M1.5
1
1240
35.0
265.0
7.5
106
3
35.3
1
/
/
M2.0

3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
/
/
M2.5
10
12400
350.0
2650
75
1060
30
353
10
/
/
M3.0

35000
991.0
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
/
/
M3.5
100
/
/
26500
750
10600
300
3530
100
/
/
M4.0

/
/
75700
2140
30900
875
10000
283
/
/
M4.5
1000
/
/
/
/
/
/
35300
1000
247
7
M5.0

/
/
/
/
/
/
100000
2830
618
17.5
M5.5
10000
/
/
/
/
/
/
353000
10000
2470
70
M6.0

/
/
/
/
/
/
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
/
/
/
/
/
/
3530000
100000
24700
700
M7.0

/
/
/
/
/
/
10000000
283000
61800
1750
 
 
注:可根据要求设计、施工,百级、千级、万级、十万级洁净室工程
 
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