净化车间 洁净车间 无尘室 净化工程

每个洁净室应订立自己的“无接触”规则，以保证产品有受污染。在微制造设施中，不使用真空棒或机器人处置产品是一种不正常的做法。使用手套可以进一步降低污染，在线宽尚大、尚可允许较低的成品率时，这种方法仍在使用。在半导体生产中，可以使用真空棒移动晶片。使用真空棒时将其置于晶片的背面。使用机器人进行处置，也可使污染降至最低。