新风量综合考虑人员卫生所需风量、生产设备排风量、维持洁净室正压所需风量，经计算得出。100级洁净室空调送风量由冷负荷和焓差经计算得出。而1000级以下洁净室的空调送风量除由冷负荷和焓差的计算值外，还需考虑洁净换气次数，取二者的最大值。之所以与100级洁净室不同，是由于空调方式不同。

5：100级主洁净室（包括清洗房）的空调方式

  净化车间,洁净工程 FFU的空调方式，其中：PAHU为新风处理机组，AHU为空气处理机组，FFU为带风机的高效过滤器系统中加PAHU，洁净室正压由PAHU风机马达变频控制，同时使室外环境的变化对洁净室的影响减小，对洁净室的温、湿度控制有利。每个车间均为独立空调系统。净化空调机组AHU将从室内抽回的回风与新风机组PAHU处理过的新风混合，经过滤、冷却、加湿等处理后，送至洁净室天花板上的空间，再与由回风技术夹墙回到天花板上的室内空气混合经FFU送到室内。生产设备的局部排风由排风机排至室外。